3月6日下午从中芯国际获悉，日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机，但这是设备正常导入，用于产能扩充，并非外界所称……
三星希望投资开发高数值孔径（High-Na）EUV设备，以提高半导体微细加工所需的电路分辨率。该设备的价格预计为每台5000亿韩元（约……
台媒指出，供应链透露，台积电目前已采购 35 台 EUV 设备，占 ASML 过半产量，2021 年底采购总量将超过 50 台。相较之下，三星 E……
业内观察人士称，在新任副董事长蒋尚义的帮助下，中国芯片巨头中芯国际将寻求与荷兰半导体设备公司阿斯麦（ASML）就 EUV 光刻设……
晶瑞股份今日发布公告：经多方协商、积极运作，该公司顺利购得 ASML XT 1900 Gi 型光刻机一台。
据国外媒体报道，台积电和三星电子的芯片制程工艺，均已提升到了 5nm，更先进的工艺研发也在推进，并在谋划量产事宜。
存储芯片厂商 SK 海力士 2 月 1 日宣布，其公司位于韩国首尔南部利川市的 M16 新厂已经竣工，SK 海力士将首次使用极紫外辐射（EU……
EUV 光刻机的自主研发还有很长的路要走，基于 SSMB 的 EUV 光源有望解决自主研发光刻机中最核心的 “卡脖子”难题。这需要 SSMB EU……
此前有消息称中芯国际已获得部分美国供应许可，主要涵盖成熟工艺用半导体设备等。官方表示，他们会尽最大努力，持续携手全球产业……
